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退火炉
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退火炉工艺及热源分类
2019-12-22
退火炉是用于制造半导体器件的过程，该过程包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理旨在实现不同的效果。可以加热晶圆以激活掺杂剂，将薄膜转化为薄膜或将薄膜转化为晶圆基材界面，制造致密的沉积薄膜，改变生长薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺
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退火炉的相关原理
2019-12-20
退火炉的技术学问引见一、用处：本井式球化退火炉适用于钢带、铜带、线材等工件停止光亮退火用，回火。同时也供其他机件热处置之用。二、主要技术参数：1、额定功率：280KW±10%2、额定电压：380V3、额定温度：950℃4、运用温度：
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