安吉井式炉是用于制造半导体器件的过程,该过程包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。 热处理旨在实现不同的效果。 可以加热晶圆以激活掺杂剂,将薄膜转化为薄膜或将薄膜转化为晶圆基材界面,制造致密的沉积薄膜,改变生长薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或掺杂剂 该试剂从一个膜转移到另一膜或从膜转移到晶片衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,也可以单独处理。 安吉井式炉由设计用于加热半导体晶片的设备完成。 退火炉是一种具有超节能结构和纤维结构的节能循环式操作炉,可节电60%。根据热源的分类,将退火炉分为电加热炉,燃煤退火炉,燃油退火炉,天然气退火炉和气体退火炉。 其中,由自备的气体发生器生产的气体退火炉被广泛使用。 气体退火炉消除了燃烧室,直接使用气体燃烧器将燃烧喷入加热室。 为了减少能量消耗,气体退火窑通常配备有热交换系统,该系统将空气转换成支持燃烧的热空气用于气体燃烧。
安吉井式炉(退火炉)的常识:在安吉井式炉中处理钛合金时,不应将氮气用作冷却气体,因为钛和氮气会在高温下反应形成金黄色的氮化钛。真空炉的所有可移动连接部件均通过O形圈密封,并通过水进行冷却。 工件在真空下淬火。应使用真空淬火油。该油具有较低的饱和蒸气压。 真空炉的维护应处于真空或充氮状态,以免在不使用时吸入和吸收水分。国产真空炉的压力上升率应不大于1.33Pa / h,国外一些企业的标准为0.67Pa / h。真空加热主要基于辐射,并且工件应在炉内隔开。在加热过程中,炉内的工件和材料将放气以降低真空度。真空退火,真空退火,真空固溶处理和真空老化的加热温度通常与常规处理的加热温度相同。真空退火炉应具有快速冷却装置。冷却水压力应大于0.2Mpa,流量应可调。冷却气体:钢通常使用99.995%的氮气,高温合金通常使用99.999%的氮气或氩气,钛合金使用99.995%的氩气。温升:放入工件后,通常在加热之前将其预先泵送至6.67Pa。
安吉井式炉用途也较为广泛,主要工作在自然气氛或保护气氛中,对较长金属工件(杆类、长轴类)进行热处理或烧结。电炉设有大型通风机装置,提高炉内温度均匀度;安吉井式炉电炉分多区控制,进一步提高炉温均匀性;炉膛内带不锈钢导风桶;炉盖启闭采用行车起吊或自动液压开闭机构,且带有导向柱,保证炉盖启闭平稳;炉盖与炉体采用耐高温纤维棉制作,炉体保温性能好,节约能源,降低生产成本;无污染,环保效益好。
目前,中国<10t / h的燃煤锅炉大多使用煤和尾部湿法简单脱硫技术。煤中硫含量<0、5%,灰分约为10%,简单脱硫效率一般为30%至50%; ≥10t/ H的燃煤锅炉大多使用大麻水膜脱硫和除尘器。安吉井式炉脱硫效率通常为30%至60%,除尘效率大于96%。通过“九五”规划,我国工业锅炉烟气脱硫技术得到了进一步发展。 “湿法脱硫除尘工艺及设备研究”是针对我国燃煤量大,种类差异大的中小型燃煤锅炉现状的科技攻关项目。煤炭的使用,是影响中国城市大气环境质量的主要污染源。它是在“第八个五年”技术研发的基础上开发出的五类产品和典型的脱硫工艺系列,已在工程中应用。安吉井式炉具有广泛的应用范围,性能稳定,投资和运营成本低。同时,它解决了常见问题,例如灰水污染的水体,使用寿命短,严重的设备水残留以及钙基脱硫系统易于结垢。它的整体研究是先进的,并且已经获得了四项中国zhuanli。这是一种适合中国国情的实用技术