地址：浙江省长兴县林城镇工业园区
电话：0572-6877665
邮箱：942948823@qq.com
手机号：13567232149
网址：www.hongdadl.cn
退火炉是用于制造半导体器件的过程，该过程包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。 热处理旨在实现不同的效果。 可以加热晶圆以激活掺杂剂，将薄膜转化为薄膜或将薄膜转化为晶圆基材界面，制造致密的沉积薄膜，改变生长薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或掺杂剂 该试剂从一个膜转移到另一膜或从膜转移到晶片衬底。
退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，也可以单独处理。 退火炉由设计用于加热半导体晶片的设备完成。 退火炉是一种具有超节能结构和纤维结构的节能循环式操作炉，可节电60％。
根据热源的分类，将退火炉分为电加热炉，燃煤退火炉，燃油退火炉，天然气退火炉和气体退火炉。 其中，由自备的气体发生器生产的气体退火炉被广泛使用。 气体退火炉消除了燃烧室，直接使用气体燃烧器将燃烧喷入加热室。 为了减少能量消耗，气体退火窑通常配备有热交换系统，该系统将空气转换成支持燃烧的热空气用于气体燃烧。
扫一扫关注我们
